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蘇州保潔公司對微電子企業的保潔方案

蘇州保潔公司對微電子企業的保潔方案

發布日期:2021-05-21 作者: 點擊:

一、微電子企業日常保潔特別性

電子企業、微電子企業是當時對潔凈等級要求Z高的企業,依照潔凈程度不同,可分為 一般區域和受控潔凈區、潔凈室、氣閘室等。對一般區域的保潔,依照通常的寫字樓的要求 進行即可,而關于受控潔凈區、潔凈室、氣閘室等潔凈等級較高的區域就有必要有相應的專業 知識和相應的工藝技術才干做好保潔服務。下面,就受控潔凈區、潔凈室的日常保潔做一些 論述。

二、微電子企業潔凈室規劃理念

(―)潔凈室的根本概念

潔凈技術是經過工程技術方面的各種設備和嚴格辦理,使室內微粒子含量、氣流、壓力 等操控在必定范圍內,這種房間空間稱為潔凈室。

(二)空氣中的微粒子

空氣中的微粒子有生物粒子和顆粒物,它們使微電子出產進程、制藥進程中產生靜電, 并且污染產品,形成產品的缺陷;在醫院手術室中的污染會導致手術失敗,危及生命。因而 空氣中的微粒子是潔凈操控區首要的鏟除對象。電子企業的防靜電、防塵要求等級越高,空 氣中答應的微粒子含量就越低。下面我們就來認識一下空氣中的微粒子。

1.生物粒子

(1)細菌、藻類:藻類與其他微生物的不同之處在于,它能進行光合效果。藻類在污 染操控和潔凈室范疇一般不是問題。

(2)真菌類:在污染操控和潔凈室范疇,真菌是第二大微生物污染源,并會成為一種 嚴峻威脅。真菌與大多數細菌比較,對養分的要求更簡略,并能夠在沒有很多水的條件下 成長。

(3)病毒:病毒在微生物中處在很獨特的方位。由于依照一般所接受的概念,不能將 其分類為活的有機生物。它們的結構相當簡略,常常是由一層蛋白質內的單個DNA和RNA 分子組成,比微生物小得多。

(4)原生物:由于原生物差不多總是與天然構成的水環境相關聯,所以它們在污染控 制和潔凈室范疇無關宏旨。

2.顆粒物

顆粒物(particulate matter)又稱塵,是大氣中的固體或液體顆粒狀物質。顆粒物可分 為一次顆粒物和二次顆粒物。一次顆粒物是由天然污染源和人為污染源開釋到大氣中直接造 成污染的顆粒物,例如土壤粒子、海鹽粒子、燃燒煙塵等。二次顆粒物是由大氣中某些污染 氣體組分(如二氧化硫、氮氧化物、碳氫化合物等)之間,或這些組分與大氣中的正常組 分(如氧氣)之間經過光化學氧化反響、催化氧化反響或其他化學反響轉化生成的顆粒物, 例如二氧化硫轉化生成硫酸鹽。

電子產品潔凈廠房對空氣潔凈度和各類雜質的操控有嚴格的要求。半導體集成電路制造 是一種高科技制造技術,為了取得微電子產品的高質量和高成品率,有必要嚴格操控芯片缺 陷。而導致芯片缺陷的因素非常復雜,其污染源或許來自空氣中的粒子或加工進程中運用的 各類工藝介質中的雜質、清洗用純水中的雜質以及東西等帶來的雜質污染等。出產環境操控 就是對與產品出產進程相關的各類污染物進行操控。其間,對出產環境中微粒的操控是非常 重要的內容。當時45nm的極大規劃集成電路已投入出產,要求潔凈室的空氣潔凈度操控在 IS01級或IS02級,微粒粒徑操控在0. 03|xmo隨著集成度的不斷提高、加工尺度日益微細 化,集成電路出產進程不只對空氣潔凈度等級提出越來越高的要求,也對整個產品出產進程 中微粒的黏附、化學污染物、芯片的損傷等問題提出越來越高的要求。近年來的實踐標明, 帶入潔凈室或潔凈室產生的污染以及空氣中的NO,、SO.、Na,、等,超細玻璃纖維制品 中的硼和DOP粒子,操作人員自身產生的NH;、Na,等,潔凈室建造資料發出的各種有機 物、金屬離子等,出產進程運用溶劑、洗刷液發出的各種化學污染物等對出產進程都有很大 的影響。

(三)潔凈技術的運用

潔凈技術協助人類實現了很多夢想,運用范疇越來越廣,正發揮著越來越大的效果。

1.微電子工業

微電子工業是當時對潔凈室要求Z高工業潔凈業。此外,如現代工業中的液晶、光纖等 的出產,相同均有潔凈度的要求。

2.醫藥工業、宇航工業、精密機械工業、儀器儀表工業、精細化學工業等,也要運用 到潔凈技術。

3.其他機構,如醫院、醫學試驗室等也需運用潔凈技術。

三、潔凈室綜合要求與準則

潔凈技術已在全國范圍內施行。微電子企業的出產環境提出了與工藝進程相對應的不同 潔凈等級要求,限制了空氣中塵土粒子的巨細和含量;室內微粒子含量、氣流、壓力等也需 操控在必定范圍內,即要求在潔凈室中進行出產。

潔凈室是一項綜合性技術,作為一個合理的規劃,不只要考慮凈化空調設備和設備,而 且在規劃潔凈室時,關于工程選址、工藝安置、典型的潔凈室人身凈化處理的流程,也有必要 滿意以下根本要求。

(-)潔凈室建筑要求

1.環境條件

(1)具有合理的人、資料、機械的流動路線。

(2)工藝區域和修理區域區分明確。

(3)有防止外部環境對室內污染的手法。

2.靈活性

(1)適應工藝的開展與擴展。

(2)工藝區域與修理區域有調整的或許。

(3)建筑距離的改變與潔凈空間有調整的或許性。

3.安全性

(1)安全通路的規劃合理。

(2)有毒藥物的寄存安全。

4.作業條件

(1)防止振蕩的規劃要求合理。

(2)防止噪聲的規劃要求合理。

(二)潔凈室設備的要求

1-環境要求

(1)保證滿意空氣潔凈度的技術施行要求。

(2)滿意溫濕度操控與潔凈度操控手法的一致性的要求。

(3)能堅持室內正壓要求,合理確認送、排風量。

(4)產生有害氣體時能排放與處理。

(5)能防止產生振蕩與噪聲。

2.靈活性:滿意工藝開展的要求。

3.安全性

(1)產生廢品、廢氣的處理設備齊備。

(2)排煙設備、消防設備的設置與報警體系完善。

4.運行條件

(1)有無備用設備。

(2)瞬間停電可防止產生不良后果。

(3)保護修理便利。

(三)潔凈室規劃綜合準則

1.潔凈工程選址

(1)周圍環境較清潔,美化較好。

(2)遠離鐵路、公路、機場(尤其是有防震要求的潔凈室更要遠離這些場所)。

(3)若受條件限制,有必要位于工業污染或灰塵較嚴峻的地區,應處于全年Z多風向的 上風側。

(4)各區路面盡量選用堅固、起塵少的資料。

2.工藝安置

(1)在不影響出產情況下,應盡量將潔凈度要求相同的潔凈室安排在一起。

(2)室內只安置必要的工藝設備,簡單產生灰塵和有害氣體的工藝設備盡量安置在潔 凈室外部。

(3)工藝用的易燃、易爆等氣體容器不要設在潔凈室內。

(4)在同一潔凈室內,盡量將潔凈度要求高的作業安置在潔凈氣流首先到達的區域。

(5)產生污染的工序,安置在接近回、排風口的方位。

(6)潔凈室的設備及家具采用潤滑、不簡單起塵的資料。

四、潔凈室日常辦理和保護準則

1-潔凈室有人員進入,潔凈度就會隨之而改變。人的外層皮膚不斷地向四周環境開釋 粒子,之所以產生這一情況,是由于外皮細胞連續不斷地被新細胞替換。服裝與首飾等的摩 擦,會添加外皮開釋的粒子數量。由于人員作業時會有更多的活動,所以開釋的粒子數量也 就隨著添加。

2.人污染產生器,由于不或許把人徹底密封在微過濾器中,也不或許給人塑造一個完 整的空氣動力學的形狀,所以人總是對周圍的環境產生影響。在污染操控范疇,化妝品常常 會形成問題。所以,潔凈室一般不答應人員運用化妝品。

1-受控潔凈區及潔凈室都是制止吸煙的。即便中止吸煙后,粒子仍會存留在氣管和肺 中,并不停地從人體內向周圍空氣中發出。這就意味著吸煙的人是一個強大的粒子產生器。

4.服務與修理人員的活動也會下降潔凈室的潔凈度,戰勝這個問題有兩種辦法:一是 將一切需求修理的物件悉數放置到潔凈室外的服務區;二是假如設備無法移出潔凈室,就在 潔凈室內進行修理,但要求修理作業堅持在Z低程度。對進入潔凈室的服務人員,特別是那 些從潔凈區之外進入潔凈室的人員,都應按正確的過程進行訓練,以將污染或許降至Z低。 氣流辦法以及工藝產生又分散開來的污染物,會影響工藝出產的結果。

1-為保證人員、出產工藝與潔凈室之間的有效互動,既需求訓練有素的人員,又需求 潔凈室的物流記載,還需求寬敞的存儲區、廣大的擺放方位,及有序的潔凈設備寄存區、寬 敞的氣閘和更衣室。

五、潔凈室和潔凈區作業指南

(一) 一般要求

1.注重手、指甲、臉部的清潔衛生。人員衛生極其重要。

2.精心選擇規劃精巧的潔凈服裝體系,并以正確的辦法穿戴,以保證其整體的防護 性能。

3-進入潔凈室前有必要清洗眼鏡并加以消毒,眼鏡的例行清洗很簡單被忘記。

2.應盡量堅持部件與東西潔凈。

3.作業只能在潔凈的外表上進行。

2-制止吸煙或運用鼻煙。與不吸煙者比較,吸煙者或運用鼻煙者會向空中多開釋出幾 百萬個粒子。

1.潔凈室內不得梳頭,乃至不能碰頭發。

2.室內一般不答應運用化妝品。一切化妝品都有粒子附著在皮膚上。假如說話、咳嗽、 打噴嚏、觸摸一件物品,這些粒子就會從皮膚上墜落下來而成為污染物。

9-制止運用指甲油。由于指甲油比指甲硬,時間長了就會呈現裂痕,塵土與微生物就 有或許藏身其間,并到處傳達。

10-室內制止佩帶首飾及手表。由于它們難以清洗,并或許形成污染。

11-潔凈室內制止吃喝,制止咀嚼口香糖或糖塊。

12.不能把潔凈服提來提去,人員不能觸摸或翻動潔凈服。

13.要防止一切不必要的活動。添加身體的活動會添加體表發出的粒子。人員不必要的 活動會使周圍空氣構成渦流。

(二) 人員衛生要求

1.每個人員應對自己個人的清潔衛生擔任。

2-人員是潔凈出產區首要的污染源之一。從人體脫落的表皮細胞是“死”粒子,可是 常常會沾有細菌及其他微生物,因而人員要防止觸摸設備和產品。

3-除定時進行盆浴或淋浴外,還應定時洗頭。

4-手是一大污染源,手是將污染物從一個地方傳達到另一個地方的罪魁禍首之一。

5-口腔也是一個首要的污染源,因而好的口腔衛生至關重要。

(三) 與人相關的污染危險因素

1-人員的選擇。

2.人員的教育與訓練。

3-潔凈室的安全要求。

4-人員的行為和人員衛生。

5-人員健康情況。

4.進入潔凈室Z低數量人員。

3-Z大占用程度(Z大答應人員數量)。

4-進出規則。

5-人流進出潔凈室的通道。

(四)潔凈室作業一般規則

每個潔凈室有必要有各自文件形式的規則及作業過程。下面提到的一般性規則,適用于所 有的潔凈室,而不專門考慮在某一特定潔凈室內進行的特定作業過程的詳細特色。

1.潔凈室內只能有必要人員。室內人員越多,污染水平越高。

2.只答應經過訓練的人員在潔凈室作業,只要具有特定作業所需技術的人員,才答應 進入潔凈室。

3.不答應作業人員將任何或許產生污染的東西帶入潔凈室。只要潔凈室內作業一切必要 的物品,才答應帶入并且要采取防污染辦法。

潔凈室內不答應有下述物品:

(1)食物、飲料、糖塊、口香糖。

(2)瓶瓶罐罐(非用品)。

(3)卷煙、煙斗、鼻煙。

(4)收音機、唱片機、袖珍錄音機。

(5)用木材、橡膠、紙、皮革、棉花及其他天然資料制成的物品。

(6)非潔凈室專用紙,包括報紙、雜志、書本、紙巾。

(7)鉛筆、橡皮及可開釋粒子的書寫用品,比方纖維筆。

4.須隨手關門。開門會使室內壓力下降,這會形成潔凈室氣流的不良運動。

5.開關門的動作都要慢??焖訇P門會添加從潔凈程度較低區域流入潔凈室的空氣量。 為操控開關門的速度,能夠在門上裝置閉門器或繃簧。

6.經過氣閘的兩扇門時,只要在榜首道門徹底封閉后,再翻開第二道門。所謂的聯鎖 設備就是使兩道門不能一起翻開。

7.不經過更衣室就無法進入潔凈室。更衣室不只僅用于更衣,它是潔凈程度較低的外 部區域與潔凈程度較高的內部出產區域之間的緩沖區。不得運用像緊急出口一類的、能夠從 出產區直接到達外部潔凈度較低區域的出口,這種出口或許會形成污染物從外部空氣到潔凈 室內部空氣間的敏捷搬運。

8.潔凈室應永遠堅持清潔規整。不規整的潔凈室絕不會潔凈。

9.相對出產工藝而言,人員應處在正確的方位。比方,斜靠在產品上是欠好的習慣, 由于這會使潔凈服上的“死”粒子和微生物粒子墜落在產品上及產品的周圍。在單向流中 作業的人員,不能直接坐在單向流中,由于這會使氣流將服裝內松散粒子吹落到空氣中。對 潔凈室中采用的作業辦法,事前仔細作好方案,才干使污染的危險降至Z小。

10.應仔細考慮產品的移動辦法,遙控操作辦法較可取,由于它不需求搬運產品。潔凈 室作業常常運用手套,但手套也或許成為污染源。

11-在潔凈室內移動物品時,不得使該物品與服裝或其他物品觸摸。

12.在接近產品的方位作業時,應防止說話。即便運用面罩,從鼻和嘴發出出的粒子仍 有穿過或繞過面具而觸摸產品的危險。假如打噴嚏或咳嗽無法防止,就應當避開產品。打完 噴嚏或咳嗽完之后,應更新面罩。面罩應能把嘴鼻都罩住。

13.防止觸摸潔凈室的外表。即便潔凈室本身是潔凈的,潔凈室內的外表和設備外表仍 或許是受到污染的。戴著手套的手要脫離潔凈服,以下降污染手套的危險。

14.應定時清洗潔凈室手套,以減少觸摸和傳達污染物的危險。手套清洗能夠運用經過

過濾的70%濃度的乙醇或異丙醇。這兩種酒精都能夠運用,由于它們揮發后均無殘留物。

15.潔凈室運用的抹布只能用一次或只能按事前定好的次數運用,并應在用完今后拋 棄。用抹布進行清潔時,應運用搖擺起伏大而直的動作,動作與動作之間沒有堆疊。

16.在潔凈室作業,應運用平穩、仔細考慮好的動作??焖匐s亂的動作會使室內懸浮粒 子濃度大大添加。

17.留在潔凈室內的產品應放在密封柜中或放在瓶內,以使物品或產品與污染物觸摸的 危險降至Z小。Z好的辦法是將其保存在層流作業臺或安全作業臺中。

18.拋棄的物品應放入專門規劃的容器內,然后定時移出室外。

19.應運用合適的辦法,對潔凈室進行潔凈,有的情況下還要對潔凈室進行消毒。

20.進入潔凈室的人有必要知道他的責任,并受過各種潔凈室專業技術的專門訓練,懂得 潔凈室內一切體系的功能。

21.產生重大事故時,比方潔凈室表里產生火災、爆破、斷電等,一切人員應快速有序 地舉動。呈現緊急情況,比方打破了有毒的或無毒的資料,有個別職工不適,或其他類似情 況等,職工都應知道應怎么采取舉動,并堅持鎮定。

22.進入潔凈室的人員,有必要對其穿戴的潔凈服有滿足的認知。

23.一切在潔凈室作業的人員,不論其作業內容怎么,有必要穿戴適當的潔凈室服裝。

24.用于無菌出產的潔凈室滅菌作業服,未經洗刷和再滅菌不得再次運用。

25.在滅菌區作業的人員,有必要徹底了解并遵守各種滅菌、消毒過程。

26.在潔凈室作業的人員,不得返回氣閘室。

27.在氣閘室中,應放有塑料袋,可將潔凈服放入袋中以便隔離和運輸。這樣,就能夠 將用過的潔凈服輸送到洗刷區,而沒有污染產品或人員的危險。

28.從整個體系的舒適性和有效性出發,決定一次可進入氣閘室人員的數量。

29.錢包、手袋等個人物品不得帶入潔凈室或氣閘室。

30.身體不適的人員,特別是腹部、鼻、嗓子不適者,不應進入潔凈區。

31-一切與潔凈室外人員的言語交流,悉數都要經過內線電話或內部通訊體系進行。決 不能把氣閘室和通道當成潔凈室與出產區外交流的通道。

32.潔凈室內制止運用化妝品,制止佩帶戒指、首飾和表。

33.將量杯、燒瓶及其他用品帶入潔凈室前,有必要依照既定過程進行清潔與滅菌。

34-潔凈室內只能運用長纖維制作的抹布,現在運用Z廣泛的是組成資料抹布。傳統的 家用拖布、刷子及其他物品,決不能用于潔凈室,潔凈室要用一次性無塵布、無塵紙、一次 性帽子及口罩。

六、潔凈區衛生操作流程及操作注意事項

進入潔凈區時有必要嚴格依照更衣程序進行更衣、換鞋(不同區域的鞋子按規則擺放在 相應的方位上)一洗手—消毒—穿潔凈上衣和褲子、鞋套(先上后下),戴口罩(穿戴結束 后,在鏡子面前收拾著裝,保證頭發、胡須和里邊的衣服不顯露)—進入緩沖間,手部消 毒一潔凈區。

進出潔凈區時,應隨手關門,不能一起翻開連通緩沖間和潔凈等級不同的通道,以免影 響潔凈區內潔凈空氣的流轉辦法。在潔凈室作業時防止大聲喧嘩,制止打鬧嬉戲;操作應輕 拿輕放,稱量物料須第二人復核,物料稱量配置后及時清理作業臺面,隨時堅持作業區域的 衛生清潔與整潔。

要加強對出產設備的維護作業,適時對設備滾動部件進行潤滑,進行電路檢査和易磨損 部件查看替換等,制止對設備亂敲亂打或故意損壞設備。出產用的工器具和清潔用具應分類 運用,定點寄存。清潔用具、抹布不能交叉混用,運用后清潔潔凈一致寄存在潔具間。工器 具應會集在規則方位擺放,運用后清潔潔凈及時放回本來方位上,時間堅持出產區域的整潔 有序。出產運用的各類記載應在崗位顯著方位放置并分類,便于作業人員及時記載并進行復 核,出產結束后,記載由崗位專人收拾,擔任人審閱后交由相關部分人員存檔。

七、某電子企業保潔服務實例

某公司為某微電子企業做保潔服務,服務實際操作的部分內容如下:

該公司把潔凈等級較高的區域稱作特別區域,特別區域有:黃光區、灰區、一般潔凈 區。特別區域需求做的保潔服務作業內容與日常保潔的內容根本相同,可是專業儀器不讓保 潔員管和動。

其間,黃光區對人的眼睛有刺激效果,所以在作業時間上有特別的待遇。進入黃光區持 續時間約lh后,要歇息0.5h,并佩帶專業眼鏡。

對保潔員沒有特別的要求,可是有必要依照甲方編制的辦理文件訓練合格后,方能上崗進 入潔凈區作業。

操控潔凈區衛生規范要求極高,有必要經過空氣測量儀評定達標情況。為了保證潔凈區達 到潔凈規范,保潔操作流程、操作工藝、保潔職工操作動作的特別規則由甲乙雙方共同制 定,適應潔凈區的要求并能詳細施行。

比方:潔凈室的地面要求職工用無塵布蹲著一塊一塊地擦,并且職工有必要是往后退著 擦,地面資料為環氧樹脂;潔凈室每天進行消毒,并規則了消毒的頻次和時間;設備管道都 有必要定時保潔,不能有死角。

潔凈區和一般區域不同,按潔凈區的防靜電、防塵專業要求,潔凈室有專用吸塵器、專 用服裝,不得用一般抹布,要用專用的一次性無塵布、無塵紙進行保潔操作,職工戴一次性 的專用帽子及口罩。

職工操作流程記載、查看記載、交接班記載指定專人辦理,寄存在指定地址。

本文網址:http://www.jadacorp.com/news/418.html

關鍵詞:蘇州保潔,昆山保潔公司

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